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德國osiris熱板：HOTPLATES
設計用于以下應用：
SOFTBAKE（預烘烤）、HARDBAKE、
HMD（六甲基二硅氮烷）可選：蒸汽灌注、真空干燥
特點：
1.單面烘烤模塊
2.不同的基材系統：最大 200/300 或 450mm
3.電子或氣動頂銷
4.具有不同頂部插入件的不銹鋼舉升銷
5.控制器單元：半自動或手動
6.真空通道用于基板固定
7.集成式排煙
8.可選的：
- 氮氣吹掃（N2） - 提升銷用于邊緣處理
9.專為研發和小批量生產而設計
1.UNIXX HvT20
（直徑200mm）用于HMDS底漆和真空脫水烘烤的臺式加熱板工具。
（可臺式或獨立式）
2. UNIXX HeT20
（直徑200mm）帶電子驅動提升銷的臺式加熱板工具。
（或安裝在臺上
3.UNIXX HpT20
（直徑200mm）帶有氣動驅動提升銷的臺式加熱板工具。
（或臺式）
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