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Micro Resist電子束及深紫外光刻膠

簡(jiǎn)要描述:德國(guó)Micro Resist公司創(chuàng)立于1993年.公司生產(chǎn)的高性能各種用于微納制作的光刻膠,除了生產(chǎn)用于i、g和h線的光刻膠以外,還有電子束刻蝕膠和納米壓印膠以及專門用于光學(xué)波導(dǎo)制作的光膠可供選擇。

  • 產(chǎn)品型號(hào):ma-N 2400、mr-EBL
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-06-05
  • 訪  問  量:3319

詳細(xì)介紹

德國(guó)Micro Resist公司創(chuàng)立于1993年.公司生產(chǎn)的高性能各種用于微納制作的光刻膠,除了生產(chǎn)用于i、g和h線的光刻膠以外,還有電子束刻蝕膠和納米壓印膠以及專門用于光學(xué)波導(dǎo)制作的光膠可供選擇。

ma-N 2400系列   

電子束和深紫外曝光 

電子束和深紫外靈敏;非常適合作為刻蝕掩模,*的抗干刻、濕刻性能;膠圖案良好的熱穩(wěn)定性;優(yōu)異的圖案分辨率-50 nm以下;堿性水溶液下顯影;

mr-EBL 6000

電子束曝光

電子束和深紫外靈敏;非常適合作為刻蝕掩模,*的抗干刻、濕刻性能;光膠圖案良好的熱穩(wěn)定性;優(yōu)異的圖案分辨率-80 nm以下;堿性水溶液下顯;

 

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