Futurrex紫外正性光刻膠

簡要描述：Futurrex 成立于1985年，是美國光刻膠及輔助化學品制造商。產品以技術著稱，從2000年至今年均增長率為33%。主要客戶有：Ti、半導體、HP、SHARP、3M、Universal Display、ETC、LG、Qualcomm （高通）等。Futurrex長期與Intel實驗室合作，產品被廣泛收錄進美國各大學半導體教程，是各大研究機構產品。

產品型號：PR1系列
廠商性質：代理商
更新時間：2025-06-05
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光刻膠

SU-8膠 Futurrex光刻膠顯影液納米光刻壓印膠查看全部產品

詳細介紹

Futurrex產品優勢：

1、Futurrex光刻膠黏附性好，無需使用增粘劑（HMDS）

2、負性光刻膠常溫下可保存3年

3、150度烘烤，縮短了烘烤時間

4、單次旋涂能夠達到100um膜厚

5、顯影速率快，100微米的膜厚，僅需6~8分鐘

正性光刻膠

A、粘度增強正膠（PR1系列）

應用：蝕刻、反應離子刻蝕、離子注入、電鍍；

特征：PR1系列正膠耐熱溫度=110℃；

品牌	產地	型號	厚度	耐熱溫度	應用
Futurrex	美國	PR1-500A	0.4μm～0.9μm	耐熱溫度=110 ℃	濕刻、反應離子束刻蝕、離子植入、電鍍
		PR1-1000A	0.7μm～2.0μm
		PR1-1500A	1.3μm～3.0μm
		PR1-2000A	1.7μm~4.0μm
		PR1-4000A	3.7μm~10.0μm
		PR1-12000A	10.0μm~25.0μm
Micro Resist	德國	ma-P 1200系列	0.5～50μm膠厚	非常適合作為刻蝕掩模，的抗干刻、濕刻性能；優異的電鍍性能（酸和堿性鍍液中的穩定性）光刻膠圖案良好的熱穩定性；堿性水溶液下顯影；寬帶、g或i線曝光

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