國產立式快速退火爐 8寸真空,RTP800V,使用多溫區控溫,可通過APP界面調節溫度均勻性。優秀的光源冷卻系統確保光源壽命達到國際水平。科學的波長分布保證半導體材料可有效吸收。
國產小型桌面式快速退火爐 4寸真空,RTP500SV,使用多溫區控溫,可通過APP界面調節溫度均勻性。優秀的光源冷卻系統確保光源壽命達到國際水平??茖W的波長分布保證半導體材料可有效吸收。
國產小型桌面式快速退火爐 4寸非真空,RTP500Z,使用多溫區控溫,可通過APP界面調節溫度均勻性。優秀的光源冷卻系統確保光源壽命達到國際水平??茖W的波長分布保證半導體材料可有效吸收。
TC-Wafer校準儀是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器,適配市場上大多數主流廠家生產的RTP設備。
RTP-3系列快速退火爐,采用紅外輻射加熱及冷壁技術,可實現對實驗材料的快速升溫和降溫
AS真空快速退火爐,性能ZYUE,可搭配分子泵實現高真空下熱處理工藝。Z高溫度1500 ℃,Z快升溫速率200℃/Second。全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過沖,控溫精度準確。